一氧化二氮（Nitrous Oxide）又稱笑氣，無(wú)色有甜味氣體，是一種氧化劑，在一定條件下能支持燃燒（同氧氣，因?yàn)樾庠诟邷叵履芊纸獬傻獨(dú)夂脱鯕猓?，但在室溫下穩(wěn)定，有輕微麻醉作用，并能致人發(fā)笑。一氧化二氮和硅烷一起用于在CVD過(guò)程中生成氮化硅薄膜。

一氧化二氮(氧化亞氮)用途

  1.超臨界溶劑。單獨(dú)或與氧氣混合用作牙科、外科和婦產(chǎn)科的麻醉劑。也可用作防腐劑、制冷劑、助燃劑、煙霧噴射劑。食品工業(yè)作為發(fā)泡劑和食品的密封劑。電子工業(yè)用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積等離子工藝。軍火工業(yè)用作推進(jìn)劑。還可用于氣密性檢查、原子吸收光譜的載體等。檢漏劑、制冷劑，以及用作原子吸收光譜用的助燃劑。.

  2.本產(chǎn)品用作醫(yī)用麻醉劑、制冷劑、助燃劑、防腐劑、煙霧噴射劑、標(biāo)準(zhǔn)氣和平衡氣等，也用于半導(dǎo)體制造中的乳化CVD工序及氣相淀積氮化硅的氮源。還可作為原子吸收光譜的氧化氣體。

  3. 用于電子工業(yè)中二氧化硅的化學(xué)氣相淀積等離子工藝。