氣體工業(yè)名詞，半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。那么電子級氣體又是什么？和立氣體(上海)有限公司為大家來說一下，目前的規(guī)模如何？

電子級氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI(大規(guī)模集成電路)級，VLSI(超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級。

一般5N以上的就可以稱為電子級的了,5N是5個(gè)9的意思,就是99.999%,電子級氣體可以到8N～10N,都是現(xiàn)場純化的,罐子里也就到7N電子級是指用在半導(dǎo)體行業(yè)的,就是做硅片的和硅片上做電路的那種。

近幾年來，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子級氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。據(jù)了解，我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展:國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳"有價(jià)無貨"時(shí)代也宣告結(jié)束，高純氯化氫已成功打開國內(nèi)市場。

電子級氣體的發(fā)展增長還是比較明顯的，而且發(fā)展趨勢有目共睹，如有電子級氣體需求，請聯(lián)系和立氣體(上海)有限公司！