我們都知道電子級氣體有一定的危險性，如何保存，都包含哪些種類，和立氣體(上海)有限公司就和大家一同了解一下。

電子級氣體可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、易燃易爆性等危險，其危害性被不同區(qū)域和不同的工業(yè)組織進行了詳細的危險等級分類。對于一個大規(guī)模量產(chǎn)的電子工廠，其使用和存儲的電子氣體數(shù)量之多可以毫不夸張地被視為擁有“大規(guī)模殺傷性”武器庫。任何設(shè)計上、施工中、日常運行里存在的隱患都會對工廠、人員和環(huán)境帶來巨大的災(zāi)難。

如何保證電子級氣體的儲存、使用操作，系統(tǒng)的工藝和產(chǎn)品本征設(shè)計，在眾多的國際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范如SEMI，NFPA，CGA，F(xiàn)M等都有很詳細的規(guī)定，目前中國國內(nèi)也正在起草針對電子特種氣體的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。通常而言，會根據(jù)氣體性質(zhì)和相容性，將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、三氟化氯氣體房等。氣體房規(guī)劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物總量控制等等。針對硅烷輸送系統(tǒng)，特別是BSGS系統(tǒng)，因總量較大，應(yīng)采用隔離式建筑。氣體房和氣柜應(yīng)采用自動噴淋系統(tǒng)。而三氟化氯遇水反應(yīng)，需要采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

使用電子級氣體的工廠抽風(fēng)系統(tǒng)也根據(jù)危險品性質(zhì)分成了普通排風(fēng)系統(tǒng)(GEX)，酸性排風(fēng)系統(tǒng)(SEX)，溶劑排風(fēng)系統(tǒng)(VEX)和氨氣排風(fēng)系統(tǒng)(AEX)。換鋼瓶時的吹掃尾氣，也建議排放至尾氣處理器中。

輸送管道一般采用無縫SS316L EP管。施工采用自動軌道焊接，經(jīng)保壓、氦檢漏和純度測試。對于劇毒、高反應(yīng)性和自燃氣體，應(yīng)使用雙套管輸送。一些劇毒氣體如磷烷、砷烷等，輸送系統(tǒng)（SDS）正在被使用。其鋼瓶內(nèi)采用負壓吸附的方式，用真空法輸送，從根本上避免了氣體的泄漏。

氣體偵測系統(tǒng)(GDS)是全廠生命系統(tǒng)（LSS）的重要組成部分。對于偵測器的要求，除了精度高，反應(yīng)迅速外，還應(yīng)具備自檢功能。

電子級氣體目前主要有：硅烷、氨氣、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、八氟環(huán)丁烷、甲烷、一氧化二氮、三氯化硼、溴化氫、一氧化碳、氖氣、氪氣等。

電子級氣體種類繁多，多大幾十種，如有您有電子級氣體方面的需求，請電話聯(lián)系我們和立氣體(上海)有限公司，歡迎來詢！