我們都知道電子級氣體有一定的危險性,那么到底什么是電子級氣體呢?和立氣體(上海)有限公司就和大家一同了解一下。
氣體工業(yè)名詞,半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子級氣體。按其門類可分為純氣,高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級,LSI(大規(guī)模集成電路)級,VLSI(超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級。
電子級氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料,它被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”,它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。
近幾年來,隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,電子級氣體市場需求量明顯增長,電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。據(jù)了解,我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進展:國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局,高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結(jié)束,高純氯化氫已成功打開國內(nèi)市場。
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