我們都知道電子級(jí)氣體有一定的危險(xiǎn)性，那么電子級(jí)氣體未來發(fā)展面臨的挑戰(zhàn)有哪些呢？和立氣體(上海)有限公司就和大家一同了解一下。
  1、電子級(jí)氣體污染控制要求日趨嚴(yán)格：隨著電子消費(fèi)品的升級(jí)換代，產(chǎn)品制造尺寸越來越大，產(chǎn)品成品率和缺陷控制越來越嚴(yán)格，整個(gè)電子工業(yè)界對(duì)電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻?；旧瞎I(yè)界對(duì)電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標(biāo)，直接與分析儀器技術(shù)進(jìn)步帶來的檢測(cè)極限（LDL）相關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測(cè)試儀可測(cè)到0.1微米，而核凝結(jié)技術(shù)（CNC）可達(dá)到0.01微米。
  2、大流量、不間斷和穩(wěn)定輸送：電子氣體多以集中式供應(yīng)為趨勢(shì)，特種氣體集中放置在氣體房。輸送系統(tǒng)的數(shù)量是根據(jù)機(jī)臺(tái)對(duì)流量的需求進(jìn)行合理配置。特氣輸送設(shè)備必須采用全自動(dòng)切換供氣，而且多設(shè)計(jì)了備用設(shè)備。對(duì)于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)。
  3、安全日趨嚴(yán)格：電子氣體可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、易燃易爆性等危險(xiǎn)，其危害性被不同國(guó)家區(qū)域和不同的工業(yè)組織進(jìn)行了詳細(xì)的危險(xiǎn)等級(jí)分類。對(duì)于一個(gè)大規(guī)模量產(chǎn)的電子工廠，其使用和存儲(chǔ)的電子氣體數(shù)量之多可以毫不夸張地被視為擁有“大規(guī)模殺傷性”武器庫。任何設(shè)計(jì)上、施工中、日常運(yùn)行里存在的安全隱患都會(huì)對(duì)工廠、人員和環(huán)境帶來巨大的災(zāi)難。
  4、建設(shè)成本日趨降低：因?yàn)殡娮庸I(yè)投資規(guī)模越來越大，縮短建設(shè)周期，降低建設(shè)成本也越來越重要。對(duì)電子級(jí)氣體輸送系統(tǒng)而言，如何在不降低系統(tǒng)污染控制水平和不犧牲安全配置的前提下，努力減少建設(shè)和運(yùn)行成本，同樣是一個(gè)挑戰(zhàn)。
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